- мікроінтерферометр
- -а, ч.Прилад для контролю точності оброблювання поверхонь, вимірювання товщини плівок тощо.
Великий тлумачний словник сучасної української мови. - "Перун". 2005.
Великий тлумачний словник сучасної української мови. - "Перун". 2005.